イオンガンを使用したミリング装置は真空中でイオンビームを試料に衝突させて表面を少しずつエッチング。1分間に約3ナノメータから300ナノメータまで可能です。微細加工装置として各分野で広く利用されています。

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株式会社エヌエス所在地
〒180-0002 東京都武蔵野市吉祥寺東町2-7-1
Tel.0422-20-0234
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品質管理
株式会社エヌエスは品質マネジメント規格に適合しています


■信頼性試験
●12インチウェハー 一括コンタクト(TDDB、EM)
●-65℃〜+350℃
●リークレベル 10pA以下

 

■高周波
●RF<10GHz
●SAWデバイス向け

 

■微少電流
●リークレベル 数fA
●セラミックブレード使用

 






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